一.EDS与XPS的相同点两者均可以用于元素的定性和定量测试，二.EDS与XPS的不同点1.基本原理不一样:简单来说，XPS是用X射线打出电子，检测的是电子；EDS则是用电子打出X射线，检测的是X射线，2.EDS只能检测元素的组成与含量，...
